“现在…现在怎么办?”
杜泽开口询问起来,整个人也是吓了一大跳。
最糟糕的结果出现了。
虽然不知道眼前的这台光刻机到底出了多大的问题,但很显然,单单只是这滚滚浓烟,就已经足够骇人,几乎想都不用想,内部的零件肯定已经遭到了损坏,他现在唯一期望的,就是希望一些唯一的零部件不要损坏。
“打开机们,快!”汪建国反应了过来,他知道自己完了,但也知道这个时候不是发呆的时候,而是要尽可能的去挽回损失!
一旁的人手急忙行动,但还没开舱门,那边的萧阳却已经高声道:
“停手,谁都不准动!”
这话一出,全场所有人顿时僵在原地。
之前萧阳说话,没有人把他当回事,但现在,事实摆在眼前的时候,萧阳的话,对于在场所有人来说却如同神谕一般,他说不动,没有人敢胡乱动,生怕因为自己一个举动,带来更大的灾难一样。
而在众人停下的时候,萧阳已经率先走到了光刻机的操作面板前,转头朝着杜泽道:
“可以开闸了!”
杜泽有些犹豫,但这个时候显然只能听萧阳的安排,当下重新把电闸打开。
“哔哔哔哔……”
电闸刚刚打开,重新通电的光刻机立刻哔哔的报起警来,这声音刺耳,伴随着闪烁的红光,更是让人在场众人的心,都给彻底悬了起来。
但站在光刻机操作面板前的萧阳,却似乎并没有受到影响,抬手在面板前操作起来,汪建国犹豫了下凑上前:
“我…我能帮忙吗?”
“没事,小问题。”萧阳混不在乎的一笑,但说出的话却让汪建国一脸懵小问题吗?
可他为什么连是什么问题都不知道?
但萧阳却没有多说什么,双手依旧不断在全是英文的操作台上点击,速度之快甚至让人怀疑这小子是不是在胡乱拨弄,汪建国瞟了一眼,顿时吓得目瞪口呆,整个人呆立原地!
因为他发现,眼前的这个年轻的过分的小子,不是在胡乱操作,恰恰相反,对方正在一条又一条的发出指令。
只不过,这些指令,有的连汪建国都看不明白。
高达十个分系统的光刻机,在萧阳的操作下竟然渐渐工作起来,每一条指令输入下去,光刻机都会升起一些变化。
而且这变化,即使是杜泽这个装机的外行都能看出来。
因为他注意到,伴随着萧阳的操作,内里的浓烟在不断冒出来,似乎里面有风扇在转动一样,紧接着还能够听到一些内部机械零件转动的声音,虽然不知道萧阳做了什么,但也清楚,这台光刻机正在朝着好的方向发展。
终于,大约二十分钟后,萧阳敲下最后一个键,松了口气:
“现在可以打开机箱盖了!”
早已等待在旁的汪建国没有犹豫,急忙招呼两人跟自己一起开箱,说是机箱盖,但事实上这机器高达两米多,机箱盖就像是一道厚重的铁门一般,三四个人一起上,伴随着全力拉动,总算把机箱门打开。
轰一一!
门刚打开,一股热浪席卷而来,带着让人窒息的热气。
这下子,众人明白了。
如果刚才就直接打开,怕是开门的几个人会被高温炙烤下当成成为人干。
忍不住的,众人看向萧阳的目光,带起了几分敬佩,但面对众人的目光,萧阳却好似没有注意一样,又在操作台操作了一阵,之后又凑到机箱门前看了一阵,半响之后才点头:
“还不错,情况比我预想的要好一点,损坏的零件不算多。”
说到这,萧阳转头看向汪建国,露出一个笑意:
“现在,你输了!”
“服不服?”
服不服?
汪建国低下了头,对这话只感觉羞愧不已。
而跟汪建国一起的那群人,此时也都把头低了下去,如果现在地上有个坑,他们恨不得直接跳坑里去。
这有什么不服的?
想想他们之前对萧阳的冷嘲热讽,再想想之前萧阳的力挽狂澜。
别看似乎萧阳只是随随便便指挥了几句,输入了一堆看不懂的指令,但别人不知道,他们却明白。
就刚才出故障时的那种情况,稍稍延缓个五秒,可能这台价值三亿的光刻机,可能至少要损失一半的零件。
这本事,服气!
“你是怎么知道会出故障的?”汪建国忍不住问道。
其他人也抬头看向萧阳。
到这个时候,他们基本上已经知道是哪里出问题了,无非就是温控系统,但到底是怎么出问题的,说实话他们现在依旧不知道。
更何况,机器还在安装,萧阳就断言会出问题,这份本事,到底是怎么做到的?
却见萧阳摇头道:
“其实很简单,无论是什么型号的光刻机,温度控制系统都存在,但不过因为每个规格的光刻机不一样,所以温控系统也有各自的区别。”
“你们的安装如果按照90nm规格来说的话不会有任何问题,但在32nm规格的机器上却出现了些许的误差,这一点在安装说明书上其实有提过,不过显然你们没有注意到,距离正常安装的位置,错过了超过1cm。
“1cm,也就是lOOnm。”
“接下来,还用我再说吗?”
话只说了一半,但在场所有人却都明白萧阳的意思,把头埋的更低了。
这台光科技,包含了10个分系统,两万多个机械部件,2 0 0多个传感器,而在如此庞大的机械结构构成的光刻机,需要的是每一台机器同步协调。
而如此庞大的机械组,想要稳定,就必须要做到精准。
一般来说,最好的安装师,误差不会超过2nm,而一般来说,10 nm就是极限,如果误差超过了lOOnm,那就是一场灾难。
引起灾难也必然顺理成章。
特别是最为重要的温控系统。
温度和空气压力变化会影响对焦,而且机器内部的机械件高速运转,就需要对温度进行实时控制和检测,温度需要始终维持在千分之五度,而且必须配备合理完善的冷却方式,精准的测温传感。
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